医疗器械临床试验豁免申请的费用因具体情况而异，主要取决于多种因素，如试验的规模、复杂程度、所需资源等。通常，这些费用可能包括以下几个方面：

申请费用：这是提交豁免申请时需要支付的基本费用，用于覆盖申请处理的行政成本。

资料准备与审核费用：包括准备和整理相关技术文件、产品说明、性能指标等材料的费用，以及监管机构对这些资料进行审核的费用。

技术支持与咨询服务费用：如果申请者需要外部专家或咨询机构提供技术支持和咨询服务，以确保申请材料的完整性和合规性，可能会产生相应的费用。

需要注意的是，具体的费用项目和金额可能因国家或地区的医疗器械监管机构而有所不同。因此，在申请豁免前，建议申请者仔细研究当地的法规和政策，了解具体的费用要求和支付方式。同时，与当地的医疗器械监管机构进行沟通和咨询，以确保申请的顺利进行。

此外，还需要注意的是，即使获得了临床试验豁免，医疗器械的研发和生产仍需遵守其他相关的法规和规定，如质量管理体系的要求、产品注册等，这些过程也可能涉及一定的费用。因此，在进行医疗器械研发和生产时，应综合考虑各方面的成本和费用，确保项目的经济效益和合规性。