医疗器械临床试验机构伦理审查的流程通常包括以下步骤：

1. 提交伦理审批申请：研究人员或申办者将医疗器械临床试验的伦理审批申请提交给所在机构或地区的伦理委员会。申请材料通常包括试验方案、研究计划、试验流程、病例招募程序、知情同意书、试验相关文件等。

2. 受理申请与分配主审委员：伦理委员会受理申请，并确认申请文件是否齐全、符合要求。之后，根据试验的性质和领域，伦理委员会会分配具有相关背景和经验的主审委员负责审查。

3. 初步审查：主审委员对申请文件进行初步审查，评估试验的科学性、合理性和伦理合规性。这包括对试验目的、方法、样本容量、试验时间等方面的内容进行详细审查。

4. 会议审查：如果初步审查中发现问题或需要进一步讨论，伦理委员会将组织会议进行审查。会议中将邀请研究者、相关领域专家等参与讨论，对试验方案进行深入评估。

5. 作出决定：根据初步审查和会议审查的结果，伦理委员会将作出是否批准试验的决定。如果批准，将发出伦理批件；如果不批准，将说明理由并提出改进意见。

6. 伦理审批通知和文件：伦理委员会向申请人发出正式的伦理审批通知，并提供相关的伦理批准文件。

此外，伦理审查还包括跟踪审查。在试验进行期间，伦理委员会将进行跟踪审查，确保试验始终符合伦理原则和要求。这包括对修正案申请的审查、年度报告或研究进展报告的提交和审查，以及对随访报告的及时处理。

请注意，具体的伦理审查流程可能因机构、地区或具体试验的要求而有所不同。因此，在实际操作中，研究人员或申办者应仔细了解并遵循所在机构或地区的伦理审查流程和要求。